超臨界微粒制備裝置包括：周期性定量壓力氣源模塊、密封噴射腔和超微噴嘴，其中：密封噴射腔固定設(shè)置于所述制備裝置的中心處，超微噴嘴位于密封噴射腔的側(cè)壁，周期性定量壓力氣源模塊包括位于同一軸線上依次相連設(shè)置的氣源連接器、緊固式聯(lián)軸器和旋轉(zhuǎn)定量氣體分配器，旋轉(zhuǎn)定量氣體分配器的輸出端分別與密封噴射腔和熔煉坩堝相連接。

　　微粒粒度分布窄、球形度高、適用性強、工藝流程短、可控性好、設(shè)備簡單、成本低和生產(chǎn)效率高等要求，周期性定量壓力氣源模塊包括位于同一軸線上依次相連設(shè)置的氣源連接器、緊固式聯(lián)軸器和旋轉(zhuǎn)定量氣體分配器，旋轉(zhuǎn)定量氣體分配器的輸出端分別與密封噴射腔和熔煉坩堝相連接。

　　氣體從氣源連接器通過聯(lián)軸器管道，進入旋轉(zhuǎn)定量氣體分配器在周期性轉(zhuǎn)動分割作用下定量分配至兩個支管道，一個支管道連接至密封噴射腔，腔內(nèi)熔體通過壓力差作用從密封噴射腔經(jīng)由超微噴嘴以定量均勻液段或均勻顆粒噴射，另一個支管道連接至熔煉坩堝為密封噴射腔補充等量體積的熔料。

　　超臨界微粒制備裝置在材料、化工、輕工、冶金、電子、生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，利用超臨界流體制備細微粒子這一技術(shù)，可以進行顆粒、微球、微膠囊、多孔材料、脂質(zhì)體及其它微細材料的加工和制備，超細粒子的制備有多種方法，超臨界流體沉積技術(shù)作為一種高新技術(shù)，能夠更準(zhǔn)確的控制結(jié)晶過程，能夠生產(chǎn)出平均粒徑很小的細微粒子，而且還可控制其粒度尺寸的分布，所以從超臨界溶液中進行沉積是一種很有前途的新技術(shù)。